Newtonフェスで聞く、AI時代の半導体製造 微細化から立体化、2000工程へ

スマートフォンに入る半導体は今や、どこかの工程で必ず東京エレクトロンの装置を通っている。9月25日に開幕した「Newtonフェス」のセッションでは、同社の難波敏之氏が、GPUの仕組みから自律化する工場の未来まで、AI時代の半導体製造を一般向けにわかりやすく解説した。